庄娟

个人信息Personal Information

副教授

硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

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激发频率对硅烷等离子体放电参数的影响

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论文类型：会议论文

发表时间：2007-08-20

页面范围：10

关键字：等离子体放电;激发频率;电子密度;鞘层;碰撞频率;离子能量;沉积速率;电场强度;连续性方程;自洽;

摘要：~~

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