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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：juanzh@dlut.edu.cn
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激发频率对硅烷等离子体放电参数的影响
点击次数：
论文类型：会议论文
发表时间：2007-08-20
页面范围：10
关键字：等离子体放电;激发频率;电子密度;鞘层;碰撞频率;离子能量;沉积速率;电场强度;连续性方程;自洽;
摘要：~~
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副教授
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：juanzh@dlut.edu.cn
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论文类型：会议论文
发表时间：2007-08-20
页面范围：10
关键字：等离子体放电;激发频率;电子密度;鞘层;碰撞频率;离子能量;沉积速率;电场强度;连续性方程;自洽;
摘要：~~