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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：juanzh@dlut.edu.cn
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- [19]Zhuang Juan, Sun Jizhong, Sang Chaofeng, Wang Dezhen, Wang, DZ (reprint author), Dalian Univ Technol, Sch Phys & Optoelect Technol, Dalian 116023, Peoples R China..Numerical Simulation of VHF Effects on Densities of Important Species for Silicon Film Depositi...[J],PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY,2012,14(12):1106-1109
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