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论文类型：期刊论文

发表时间：2015-08-25

发表刊物：红外与激光工程

收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

卷号：44

期号：8

页面范围：2243-2249

ISSN号：1007-2276

关键字：飞秒激光;石英玻璃;仿真建模;烧蚀形状

摘要：基于透明电介质的烧蚀率计算模型，建立了飞秒激光烧蚀石英玻璃的微槽截面形状仿真模型，并通过烧蚀实验验证了模型的可靠性。利用所建模型分析了光斑半径、脉冲能量和扫描速度等参数对微槽截面形状的影响规律。研究表明，减小光斑半径、提高脉冲能量或降低扫描速度均可以提高微槽的槽深和侧壁角；微槽的槽宽随脉冲能量的提高或扫描速度的降低而增大，但随光斑半径的增大，其呈现先增大后减小的规律，在脉冲能量为4μJ、扫描速度为0.2 mm/s的条件下，槽宽在光斑半径为13μm时达到最大值8.13μm。