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论文类型：会议论文

发表时间：2009-07-20

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关键字：等离子体;大气压射频放电;极板间距;极板电压

摘要：实验发现,大气压下氩气放电产生的放电丝的分布随放电气隙间距和外加电压而变化。针对实验中得到的结果,建立了一维自洽流体模型,采用有限差分方法,对大气压下射频氩放电等离子体参数变化进行研究。考虑了氩等离子体中的激发和电离等6个反应过程,对等离子体反应产生的主要粒子:电子、氩原子离子Ar~+、氩分子离子Ar_2~+和氩激发态Ar~*等,建立连续性方程、动量方程和电流平衡方程。分析了极板电压、极板间距对上述粒子密度分布的影响。给出了电子、氩原子离子Ar~+、氩分子离子Ar_2~+密度随极板电压、间距变化的时空演化过程。