Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Conference Paper

Date of Publication: 2013-10-25

Page Number: 361-361

Key Words: 电子束熔炼;多晶硅;杂质;提纯

Abstract: 　　电子束熔炼提纯多晶硅是冶金法制备太阳能级多晶硅的关键环节，根据硅中磷、铝、钙等挥发性杂质饱和蒸气压大于硅的特点，利用电子束提供的高温、高真空的环境，使这一类杂质从硅熔体中蒸发去除。