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Indexed by:会议论文
Date of Publication:2013-10-25
Page Number:361-361
Key Words:电子束熔炼;多晶硅;杂质;提纯
Abstract: 电子束熔炼提纯多晶硅是冶金法制备太阳能级多晶硅的关键环节，根据硅中磷、铝、钙等挥发性杂质饱和蒸气压大于硅的特点，利用电子束提供的高温、高真空的环境，使这一类杂质从硅熔体中蒸发去除。
Pre One:多孔硅吸杂对单晶硅片电性能的影响
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