Fabrication of a three-layer SU-8 mould with inverted T-shaped cavities based on a sacrificial photoresist layer technique
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发表时间：2022-10-02
发表刊物：BIOMEDICAL MICRODEVICES
所属单位：机械工程学院
卷号：16
期号：5
页面范围：655-660
ISSN号：1387-2176
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发表时间：2022-10-02
发表刊物：BIOMEDICAL MICRODEVICES
所属单位：机械工程学院
卷号：16
期号：5
页面范围：655-660
ISSN号：1387-2176