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一种采用反应磁控溅射制备二氧化铪基铁电薄膜的方法

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First Author:Dayu ZHOU

Disigner of the Invention:sunnana,徐进,徐军,zhangyu,赵鹏

Affilication of Author(s):材料科学与工程学院

Application Number:CN108441830A

Authorization number:CN201810171185.0

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