Hits:

Indexed by:会议论文

Date of Publication:2016-11-01

Journal:2016年全国电化学加工技术研讨会

Page Number:6

Key Words:电致化学抛光;离子浓度;刻蚀效率;粗糙度

Abstract:铜的电致化学抛光(EGCP)过程中,刻蚀区域Cu~(2+)的浓度对于加工效率和加工效果有着很大的影响。在刻蚀过程中,由于刻蚀产生的产物Cu~(2+)不能及时扩散出去,就会在刻蚀区域逐渐累积,当Cu~(2+)的浓度累积到一定程度时,就会降低刻蚀效率。同时,Cu~(2+)浓度的增大也会影响刻蚀后的铜工件表面粗糙度改善。本文通过观察Cu~(2+)浓度变化对于铜的电致化学抛光过程的影响,分析了Cu~(2+)浓度,物料扩散条件对于刻蚀效率和刻蚀效果的影响。研究结果表明,Cu~(2+)浓度的增加会降低刻蚀效率并且使得刻蚀效果变差,加工过程中及时使Cu~(2+)扩散出加工区利于刻蚀效率和刻蚀效果的提升。