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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2018-08-28

Journal:实验室科学

Volume:21

Issue:4

Page Number:11-14

ISSN No.:1672-4305

Key Words:功率谱密度;超精密加工;表面形貌;质量评价

Abstract:功率谱密度法(Power Spectral Density,PSD)从物理意义上来讲就是单位频率内的信号能量,用于描述随机过程的功率与频率之间的关系.PSD法可以用于分析超精密加工表面的形貌特征,也可以分析不同频率在表面形貌中的分布,从而评价加工工艺对超精密加工表面质量的影响.利用一维PSD的方法,评价了磨削硅片、 抛光硅片、 抛光铜片表面的质量,通过结果分析可知,与表面粗糙度方法相比,PSD方法可以更全面地评价被加工工件的表面质量.因此,需要在实验室教学过程中引导学生关注功率谱密度分析方法,建立功率谱密度函数与超精密加工表面质量之间的关系.