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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2015-12-15

Journal:人工晶体学报

Included Journals:EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

Volume:44

Issue:12

Page Number:3439-3443,3454

ISSN No.:1000-985X

Key Words:大尺寸超薄硅片;重力附加变形;FEM;反转法

Abstract:建立了计算硅片重力附加变形的有限元模型,模型包含硅片残余应力的影响.通过有限元与实验方法研究了反转法对抛光与磨削加工硅片适用性.结果表明,反转法适用于抛光硅片,有限元与反转法所得重力附加变形差值小于1 μm;对#5000砂轮磨削的300 mm直径394 μm厚度硅片,硅片残余应力使反转前后重力附加变形不再相同,误差超过最大重力附加变形值的5％;对#2000砂轮磨削的200 mm直径194 μm厚度硅片,残余应力超过临界值,硅片变形发生分岔,硅片自由面形与重力附加变形不再符合叠加关系,反转法不再适用.