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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2004-01-01
Journal:材料导报
Included Journals:PKU、ISTIC
Volume:18
Issue:z2
Page Number:310-312,316
ISSN No.:1005-023X
Key Words:类金刚石(DLC) 掺杂 改性 性能
Abstract:类金刚石膜具有良好的机械性能、电学性能、光学性能、摩擦学性能、热学和化学性能以及生物相容性.为了进一步挖掘并改善类金刚石膜潜在性能,人们在类金刚石膜中掺入不同元素并研究了膜性能变化.总结了掺杂对类金刚石膜性能的影响.
