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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2018-10-28
Journal:实验室科学
Volume:21
Issue:5
Page Number:72-74,78
ISSN No.:1672-4305
Key Words:激光干涉仪;光束准直;测量
Abstract:激光干涉仪具有测量速度快、 测量精度高、 测量范围大、 分辨力高等优点.随着数控机床的广泛应用,使用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测,已经成为公认的检测方法.在检测的准备过程中,准直光路通常会占用较长的时间,介绍一种快速准直光路的测量技巧,通过综合规划三轴测量先后顺序,充分利用已经调好的光路准直条件,快速有效地调节有90°光路旋转轴的测量准直工作,节省了工作时间,提高了工作效率.