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个人信息Personal Information
副教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：伦敦帝国理工学院
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 材料加工工程
办公地点：知方楼5007
联系方式：13842856182
电子邮箱：baiqian@dlut.edu.cn
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Depolarization of surface scattering in polarized laser scattering detection for machined silicon wafers
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发表时间：2022-10-06
发表刊物：PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY
卷号：73
页面范围：203-213
ISSN号：0141-6359
关键字："Polarized laser scattering; Depolarization; Surface roughness; Subsurface damage; Monocrystalline silicon"