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个人信息Personal Information
副教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：伦敦帝国理工学院
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 材料加工工程
办公地点：知方楼5007
联系方式：
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Polarized laser scattering detection of low-density and micron-scale subsurface cracks in silicon wafer
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论文类型：期刊论文
论文编号：385147
发表时间：2024-03-10
发表刊物：PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY
卷号：86
页面范围：75-81
ISSN号：0141-6359
关键字：DAMAGE; MECHANISMS; SINGLE-CRYSTAL SILICON