上一条： Hybrid simulation of electron energy distributions and plasma characteristics in pulsed RF CCP sustained in Ar and SiH4/Ar discharges
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高级工程师
性别： 女
毕业院校：大连理工大学
学位： 博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：yyzhang1231@dlut.edu.cn
开通时间：..
最后更新时间：..
