边继明
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别:男
毕业院校:中科院上海硅酸盐研究所
学位:博士
所在单位:物理学院
学科:微电子学与固体电子学. 凝聚态物理
办公地点:大连理工大学科技园C座301-1办公室
联系方式:E-mail:jmbian@dlut.edu.cn.
电子邮箱:jmbian@dlut.edu.cn
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Ag掺杂P型ZnO薄膜及其光电性能研究
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论文类型:期刊论文
发表时间:2008-08-01
发表刊物:物理学报
收录刊物:SCIE、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus
卷号:57
期号:8
页面范围:5212-5216
ISSN号:1000-3290
关键字:ZnO:Ag薄膜;P型掺杂;超声喷雾热分解;霍尔效应
摘要:采用超声喷雾热分解法在石英衬底上以醋酸锌水溶液为前驱体,以硝酸银水溶液为Ag掺杂源生长了Ag掺杂ZnO(ZnO:Ag)薄膜.研究了衬底温度对所得ZnO:Ag薄膜的晶体结构、电学和光学性质的影响规律.所得ZnO:Ag薄膜结构良好,在室温光致发光谱中检测到很强的近带边紫外发光峰,透射光谱中观测到非常陡峭的紫外吸收截止边和较高的可见光区透过率,表明薄膜具有较高的晶体质量与较好的光学特性.霍尔效应测试表明,在500℃下获得了P型导电的ZnO:Ag薄膜,载流子浓度为5.30×1015cm-3,迁移率为6.61 cm2·V-1s-1.