Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2009-12-15

Journal: 人工晶体学报

Included Journals: Scopus、CSCD、ISTIC、PKU、EI

Volume: 38

Issue: 6

Page Number: 1442-1445

ISSN: 1000-985X

Key Words: CdZnTe;力学特性;尺寸效应;各向异性

Abstract: 采用研磨-机械抛光-化学机械抛光工艺对CdZnTe(211)面进行加工,当表面粗糙度Ra达到0.94 nm时,采用纳米压痕仪对CdZnTe(211)面进行纳米力学性能测量,试验结果表明:弹性模量和硬度随着压力的增大而减小,存在明显的尺寸效应.当针尖离开晶体表面时,黏附现象特别明显.在不同晶向上,弹性模量和硬度存在显著的各向异性.