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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2008-10-15

Journal:光学精密工程

Included Journals:Scopus、EI、PKU、ISTIC、CSCD

Volume:16

Issue:10

Page Number:1928-1935

ISSN No.:1004-924X

Key Words:激光弯曲 吸收系数 脉冲激光 硅片

Abstract:考虑热吸收系数随温度变化的因素,以硅为对象进行r激光弯曲模拟和实验.借助APDL语言编写了激光弯曲成形的仿真程序,对单脉冲作用过程进行模拟,以得到单点脉冲周期内的温度分布;采用NiCr/NiSi合金薄膜热电偶对单脉冲作用过程中的温度分布进行测量,对比上述的温度模拟与测量结果,修正硅材料的激光综合吸收系数为0.82.采用有限元分析软件实现了硅片的脉冲激光弯曲成形的仿真和模拟,并对硅片多次连续扫描的弯曲模拟与弯曲实验进行对比,误差仅为0.1°,验证了仿真程序的有效性,为硅片的激光弯曲成形提供了理论与实验依据.