Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2007-08-15

Journal: 光学精密工程

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU、EI、Scopus

Volume: 15

Issue: 8

Page Number: 1263-1268

ISSN: 1004-924X

Key Words: 激光清洗;硅片;清洗率;图像处理

Abstract: 介绍了一种基于Matlab图像处理工具箱技术的评价硅片表面污染颗粒激光清洗率的新方法.借助Matlab图像处理工具箱,对清洗前后硅片表面光学显微镜照片进行处理,编写硅片表面激光干法清洗率的评价程序,统计清洗前后硅片表面评价区域的污染颗粒个数,对清洗效果进行定量评价.研究结果证明,利用此方法统计的颗粒数准确度达97.6%,得到的激光清洗率准确度达99.2%.结果表明,借助图像处理技术评定清洗效果是一种高效、快速、准确的新方法.