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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2007-08-15

Journal:光学精密工程

Included Journals:Scopus、EI、PKU、ISTIC、CSCD

Volume:15

Issue:8

Page Number:1263-1268

ISSN No.:1004-924X

Key Words:激光清洗;硅片;清洗率;图像处理

Abstract:介绍了一种基于Matlab图像处理工具箱技术的评价硅片表面污染颗粒激光清洗率的新方法.借助Matlab图像处理工具箱,对清洗前后硅片表面光学显微镜照片进行处理,编写硅片表面激光干法清洗率的评价程序,统计清洗前后硅片表面评价区域的污染颗粒个数,对清洗效果进行定量评价.研究结果证明,利用此方法统计的颗粒数准确度达97.6%,得到的激光清洗率准确度达99.2%.结果表明,借助图像处理技术评定清洗效果是一种高效、快速、准确的新方法.