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论文类型： 期刊论文

发表时间： 2015-06-29

发表刊物： 物理学报

收录刊物： Scopus、SCIE、EI、PKU、ISTIC、CSCD

卷号： 64

期号： 16

页面范围： 348-357

ISSN号： 1000-3290

关键字： 钎料;热迁移;界面反应;金属间化合物

摘要： 电子封装技术中,微互连焊点在一定温度梯度下将发生金属原子的热迁移现象,显著影响界面金属间化合物的生长和基体金属的溶解行为.采用Cu/Sn/Cu焊点在250?C和280?C下进行等温时效和热台回流,对比研究了热迁移对液-固界面Cu6Sn5生长动力学的影响.等温时效条件下,界面Cu6Sn5生长服从抛物线规律,由体扩散控制.温度梯度作用下,焊点冷、热端界面Cu6Sn5表现出非对称性生长,冷端界面Cu6Sn5生长受到促进并服从直线规律,由反应控制,而热端界面Cu6Sn5生长受到抑制并服从抛物线规律,由晶界扩散控制.热端Cu基体溶解到液态Sn中的Cu原子在温度梯度作用下不断向冷端热迁移,为冷端界面Cu6Sn5的快速生长提供Cu原子通量.计算获得250?C和280?C下Cu原子在液态Sn中的摩尔传递热Q分别为14.11和14.44 k J/mol,热迁移驱动力F L分别为1.62×1019和1.70×1019N.