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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：大连理工大学机械工程学院知方楼5009
联系方式：pzhou@dlut.edu.cn
电子邮箱：pzhou@dlut.edu.cn
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基于多级粗糙表面软弹流润滑模型的ULSI平坦化机理研究
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负责人姓名：周平
项目来源：国务院其他部门
项目子类：面上项目
项目状态：结题
项目来源单位：人力资源与社会保障部
项目性质：纵向
项目批准号：20100470069
立项时间：2010-01-01
计划完成时间：2012-12-31
开始日期：2011-01-01
结项日期：2012-12-31