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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：大连理工大学机械工程学院知方楼5009
联系方式：pzhou@dlut.edu.cn
电子邮箱：pzhou@dlut.edu.cn
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集成电路用CMP抛光垫测评方法研究
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负责人姓名：周平
项目参与人员：闫英
项目来源：企事业单位委托科技项目
项目状态：结题
项目来源单位：湖北鼎汇微电子材料有限公司
项目性质：横向
立项时间：2020-04-25
计划完成时间：2022-04-24
开始日期：2020-04-25
结项日期：2022-11-07