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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：大连理工大学机械工程学院知方楼5009
联系方式：pzhou@dlut.edu.cn
电子邮箱：pzhou@dlut.edu.cn
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Effect of Viscoelastic Characteristics on the Real Contact Area of Polishing Pad Surface
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发表刊物：ECS JOURNAL OF SOLID STATE SCIENCE AND TECHNOLOGY
卷号：13
期号：4
ISSN号：2162-8769
关键字：BEHAVIOR; CMP; IMPACT; MATERIAL REMOVAL; MICRO-TEXTURE; MODEL; PERFORMANCE; SILICA