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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：大连理工大学机械工程学院知方楼5009
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原子层制造的研究现状与科学挑战
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论文类型：期刊论文
论文编号：389938
发表时间：2024-01-01
发表刊物：中国科学基金
卷号：38
期号：1
页面范围：99-114
ISSN号：1000-8217
关键字：原子层制造; 原子层制造工艺与装备; 原子层抛光; 原子层损伤控制; 原子层沉积/刻蚀
CN号：11-1730/N