|
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：大连理工大学机械工程学院知方楼5009
联系方式：
电子邮箱：
扫描关注
Study on the transformation and control mechanism of amorphous damage during the grinding process of monocrystalline silicon considering grain shapes by MD method
点击次数：
论文类型：期刊论文
论文编号：370661
发表时间：2023-09-18
发表刊物：TRIBOLOGY INTERNATIONAL
卷号：187
ISSN号：0301-679X
关键字：DEFORMATION; EDGE RADIUS; MOLECULAR-DYNAMICS SIMULATION; PARTICLE-SHAPE; REMOVAL MECHANISM; SCALE; SINGLE-CRYSTAL SILICON; SUBSURFACE DAMAGE; SURFACE; TRANSITION