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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：大连理工大学机械工程学院知方楼5009
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STUDY ON CHEMICAL-MECHANICAL SYNERGIES IN POLISHING OF RUTHENIUM
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论文类型：会议论文
论文编号：394413
发表时间：2028-03-17
发表刊物：CONFERENCE OF SCIENCE & TECHNOLOGY FOR INTEGRATED CIRCUITS, 2024 CSTIC