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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：大连理工大学机械工程学院知方楼5009
联系方式：pzhou@dlut.edu.cn
电子邮箱：pzhou@dlut.edu.cn
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Role of alumina particles in chemical-mechanical synergies in ruthenium polishing
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发表时间：2024-09-06
发表刊物：JOURNAL OF MATERIALS PROCESSING TECHNOLOGY
卷号：330
ISSN号：0924-0136
关键字：CMP; COLLOIDAL SILICA; COPPER; H2O2; POTASSIUM PERIODATE; RU; SLURRY; SPECTROSCOPY; SURFACE; WEAR