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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：大连理工大学机械工程学院知方楼5009
联系方式：pzhou@dlut.edu.cn
电子邮箱：pzhou@dlut.edu.cn
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Variable convolution-based prediction of surface profiles in polishing pad conditioning
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发表时间：2025-10-24
发表刊物：PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY
卷号：97
页面范围：279-289
ISSN号：0141-6359
关键字：CMP; DIAMOND SIZE; MATERIAL REMOVAL; UNIFORMITY; WAFER; WEAR