点击次数：

论文类型：期刊论文

发表时间：2015-01-01

发表刊物：中国激光

收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD

卷号：42

期号：3

页面范围：0303009

ISSN号：0258-7025

关键字：激光技术; 飞秒激光; 石英玻璃; 烧蚀形貌; 表面粗糙度

摘要：为实现石英玻璃表面凹槽的飞秒激光精密减薄加工,采用线扫描-面减薄的工艺手段,研究脉冲能量对烧蚀线槽形貌的影响,并以此为基础开展不同烧蚀线重叠率d
   elta 的单层凹槽减薄实验,通过激光共聚焦显微镜对凹槽的槽深、侧壁角和底面粗糙度等形貌特征进行观测和分析。研究表明,当40%≤ delta
   ≤80%时,随着delta 的增大,凹槽深度增大、侧壁角减小;当delta =40%时,凹槽的槽深、槽宽、侧壁角分别为14.56
   mum、261.8 mum和59.1°。凹槽底面粗糙度R_a和R_z随delta 的增大而减小,当delta 为80%时分别达到最小值0.19
   mum和1.23 mum;平行于扫描速度方向的轮廓算数平均偏差R_a′和微观不平度十点高度R_z′随delta
   的增大呈现先减小后增大的趋势,当delta 为80%时,R_a′R_a、R_z′R_z;轮廓三维均方根偏差S_q随delta
   的增大逐渐减小,最小值为0.16 mum。