大连理工大学主页平台管理系统吴东江--中文主页-- 飞秒激光精密减薄石英玻璃凹槽实验

论文成果

飞秒激光精密减薄石英玻璃凹槽实验

点击次数：
论文类型：期刊论文
发表时间：2015-01-01
发表刊物：中国激光
收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD
文献类型：J
卷号：42
期号：3
页面范围：0303009
ISSN号：0258-7025
关键字：激光技术; 飞秒激光; 石英玻璃; 烧蚀形貌; 表面粗糙度
摘要：为实现石英玻璃表面凹槽的飞秒激光精密减薄加工,采用线扫描-面减薄的工艺手段,研究脉冲能量对烧蚀线槽形貌的影响,并以此为基础开展不同烧蚀线重叠率d
elta 的单层凹槽减薄实验,通过激光共聚焦显微镜对凹槽的槽深、侧壁角和底面粗糙度等形貌特征进行观测和分析。研究表明,当40%≤ delta
≤80%时,随着delta 的增大,凹槽深度增大、侧壁角减小;当delta =40%时,凹槽的槽深、槽宽、侧壁角分别为14.56
mum、261.8 mum和59.1°。凹槽底面粗糙度R_a和R_z随delta 的增大而减小,当delta 为80%时分别达到最小值0.19
mum和1.23 mum;平行于扫描速度方向的轮廓算数平均偏差R_a′和微观不平度十点高度R_z′随delta
的增大呈现先减小后增大的趋势,当delta 为80%时,R_a′R_a、R_z′R_z;轮廓三维均方根偏差S_q随delta
的增大逐渐减小,最小值为0.16 mum。

上一条：粉末分布对激光近净成形Al2O3陶瓷薄壁件表面形貌的影响

下一条： Power prediction for laser engineered net shaping of Al2O3 ceramic parts

吴东江 var u_u6_pic = new ImageScale("u_u6_",140,140,true,true);u_u6_pic.addimg("/_resources/group1/M00/00/11/ynZMg18Re8KAC3bqAAfXDsMuQBA025.jpg","","吴东江","5935");