Release Time:2019-03-11  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2008-01-01

Journal: 中国机械工程

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU、EI、Scopus

Volume: 19

Issue: 24

Page Number: 3012-3018

ISSN: 1004-132X

Key Words: 聚合物微流控芯片; 微流控芯片的键合技术; 微流控芯片的制作工艺; 生化MEMS器件

Abstract: 在微流控芯片的制作中,键合是关键技术之一,基片与盖片只有通过键合才能形成封闭的微通道,因此键合质量直接影响芯片的制作质量。对键合方法进行了分类,
   综述了目前已有的芯片键合技术及方法,分析了各种键合方法在制作质量、制作效率以及是否适用于批量化制作等方面的局限性,详细介绍了具有效率高、适合批量
   化生产等优点的超声波键合技术的研究进展。