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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2008-01-01

Journal:中国机械工程

Included Journals:Scopus、EI、PKU、ISTIC、CSCD

Volume:19

Issue:24

Page Number:3012-3018

ISSN No.:1004-132X

Key Words:聚合物微流控芯片; 微流控芯片的键合技术; 微流控芯片的制作工艺; 生化MEMS器件

Abstract:在微流控芯片的制作中,键合是关键技术之一,基片与盖片只有通过键合才能形成封闭的微通道,因此键合质量直接影响芯片的制作质量。对键合方法进行了分类,
   综述了目前已有的芯片键合技术及方法,分析了各种键合方法在制作质量、制作效率以及是否适用于批量化制作等方面的局限性,详细介绍了具有效率高、适合批量
   化生产等优点的超声波键合技术的研究进展。