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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2003-09-20
Journal:传感器技术
Included Journals:PKU、CSCD
Volume:22
Issue:9
Page Number:8-11,15
ISSN No.:1000-9787
Key Words:扫描探针显微术;微观几何形状;传感器
Abstract:随着微技术的发展,对微观结构的精确测量变得越来越重要.对能够用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术--扫描隧道显微术(STM)、扫描光学近场显微术(SNOM)和原子力显微术(AFM)进行了比较详细的分析和介绍.
