Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2009-01-15

Journal: 仪器仪表学报

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU、EI、Scopus

Volume: 30

Issue: 1

Page Number: 29-34

ISSN: 0254-3087

Key Words: MEMS;动态测试;高载;虚拟仪器

Abstract: 利用虚拟仪器技术开发了高载条件下MEMS动态测试系统,实现了高载条件的监测与MEMS动态测试的自动控制.设计了高速离心转盘提供高载环境,选用压电陶瓷作为动态测试的激励装置,应用高速导电滑环传输数据.测试中的高频响应信号按DMA方式采集,此过程占用系统DMA资源,与监测相互冲突.提出上位机通过TCP/IP协议控制下位机进行高速采集的方法,解决了冲突问题.本文对系统的总体设计、软件技术、系统功能等方面做出详细阐述.