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论文类型：期刊论文

发表时间：2009-06-20

发表刊物：传感技术学报

收录刊物：Scopus、PKU、ISTIC、CSCD

卷号：22

期号：6

页面范围：785-789

ISSN号：1004-1699

关键字：压电陶瓷;动态响应;MEMS;加速度

摘要：针对压电材料在逆压电效应下具有极快响应速度的特点,研究并测试了压电陶瓷在阶跃激励下阶跃响应时间及其输出特性,利用其响应时间短输出带宽大的特性,研究了压电陶瓷作为激励源在微结构动态测试上的应用,并建立了压电陶瓷底座激励装置,成功测试了几种MEMS微结构的谐振频率;利用其在极短响应时间内输出大加速度的特点,研究了压电陶瓷在大量程加速度传感器灵敏度测试上的应用,结果显示压电陶瓷瞬时输出最大加速度达上万gn.