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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：新三束实验室3号楼 201室
联系方式：0411-84709795-21
电子邮箱：zhaonie@dlut.edu.cn
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氢气感性耦合等离子体模式跳变的流体模拟
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论文类型：会议论文
发表时间：2013-08-15
页面范围：318-318
关键字：流体模拟;外界输入;放电模式;薄膜制备;均匀性;大小对;匹配网络;串联电容;线圈电流;电流比;
摘要：引言感性耦合等离子体具有等离子体密度高,放电气压低,装置简单,均匀性好等优点,因此在工业上得到了广泛应用。ICP源具有两种放电模式,E模式和H模式,随着外界输入参数的变化,会发生明显的模式跳变,从而引起等离子体特性发生突变,对等离子体刻蚀和薄膜制备工艺产生重要的影响。因此,系统研究ICP的模式跳变行为具有重要的指导意义。