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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：新三束实验室3号楼 201室
联系方式：0411-84709795-21
电子邮箱：zhaonie@dlut.edu.cn
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容性耦合等离子体电子加热模式分析
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论文类型：会议论文
发表时间：2009-07-20
页面范围：1
关键字：等离子体电子;容性耦合;二次电子;欧姆加热;粒子相互作用;模式转换;电源电压;低温等离子体;非线性耦合;鞘层;
摘要：低温等离子体的加热机制通常可以分为四种:欧姆加热,随即加热,波-粒子相互作用的共振加热和二次电子加热。不同参数的不同装置起主导作用的加热机制不同,改变外界参数(如电源电压,气压等)参数时,加热机制会发生显著的变换,从而导致等离子体的性质发生明显的改变或模式转换,不同参数的非线性耦合有可能导致回滞现