教授 博士生导师 硕士生导师
性别： 男
毕业院校： 中科院半导体所
学位： 博士
所在单位： 物理学院
电子邮箱： aiminl@dlut.edu.cn
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论文类型： 会议论文
发表时间： 2004-09-01
页面范围： 1145-1147
关键字： 多孔InP 多孔硅 SEM 纳米阵列 电化学 刻蚀
摘要： 电化学刻蚀方法是一种非常简单实用的制备规则纳米阵列结构的方法.本文简述了用电化学刻蚀方法制备InP以及Si规则纳米阵列的方法.SEM图像给出了这些规则纳米阵列的结构.
