采用ECR-PECVD技术低温生长多晶硅薄膜

Release Time:2023-03-30  Hits:

Date of Publication: 2022-10-09

Journal: 2006北京国际材料周暨中国材料研讨会

Institution: 物理学院

Page Number: 235-240

Note: 新增回溯数据

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