副教授 博士生导师 硕士生导师
任职 : 辽宁省能源材料及器件重点实验室副主任
性别： 男
毕业院校： 大连理工大学
学位： 博士
所在单位： 材料科学与工程学院
学科： 材料物理与化学. 材料表面工程
办公地点： 新三束4#楼311室
联系方式： 0411-84706661-101
电子邮箱： aimin@dlut.edu.cn
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论文类型： 会议论文
发表时间： 2009-08-15
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关键字： ECR-PECVD;微晶硅薄膜;化学气相沉积;低温制备;等离子体刻蚀;结构研究;电子回旋共振;缓冲层;微波功率;响应特性;
摘要： 微晶硅薄膜电池几乎没有光致衰退效应,且具有好的长波响应特性,因此微晶硅薄膜材料的研究成为热门课题。本文的研究目的就是采用微波电子回旋共振等离子体加强化学气相沉积的方法以廉价玻璃为衬底低温下制备微晶硅薄膜。实验分两组进行,根据以前的研究结果本文
