副教授 博士生导师 硕士生导师
其他任职：辽宁省能源材料及器件重点实验室副主任
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院
学科：材料物理与化学
材料表面工程
办公地点：新三束4#楼311室
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发布时间：2019-03-11
论文类型：会议论文
发表时间：2009-08-15
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关键字：ECR-PECVD;薄膜;磷烷;n型硅
摘要：叠层薄膜太阳能电池作为新一代太阳能电池,正在受到越来越多的关注。硅作为当今研究最广泛的半导体材料,以其成熟的工艺技术及地球壳层中丰富的含量在新一代太阳能电池的应用中仍占有重要的地位。叠层电池中每一个单独p-i-n结构的电导率,带隙宽度,透光性都会影
