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吴爱民
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副教授   博士生导师   硕士生导师

任职 : 辽宁省能源材料及器件重点实验室副主任

性别: 男

毕业院校: 大连理工大学

学位: 博士

所在单位: 材料科学与工程学院

学科: 材料物理与化学. 材料表面工程

办公地点: 新三束4#楼311室

联系方式: 0411-84706661-101

电子邮箱: aimin@dlut.edu.cn

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用ECR-PECVD低温沉积多晶硅薄膜

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发表时间: 2022-10-06

发表刊物: 半导体光电

卷号: 27

期号: 4

页面范围: 412-415

ISSN号: 1001-5868

备注: 新增回溯数据

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