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吴爱民
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副教授   博士生导师   硕士生导师

任职 : 辽宁省能源材料及器件重点实验室副主任

性别: 男

毕业院校: 大连理工大学

学位: 博士

所在单位: 材料科学与工程学院

学科: 材料物理与化学. 材料表面工程

办公地点: 新三束4#楼311室

联系方式: 0411-84706661-101

电子邮箱: aimin@dlut.edu.cn

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用等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅薄膜

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发表时间: 2022-10-06

发表刊物: 材料研究学报

卷号: 24

期号: 5

页面范围: 547-549

ISSN号: 1005-3093

摘要: Microcrystalline silicon films were prepared using Ar diluted SiH4
   gaseous mixture by electron cyclotron resonance plasma-enhanced chemical
   vapor deposition(ECR-PECVD).The effects of the microwave power on
   deposition rate,crystallinity,grain size and the configuration of H
   existing in microcrystalline silicon films were investigated.The results
   show that the crystallinity increases and the concentration of hydrogen
   decreases monotonously with the increasing of the microwave power.But
   the deposition rate first increases monotonously,and then
   decreases.Optimized microwave power is 600 W for the highest deposition
   rate.<111〉orientation is the only dominant crystal texture for films
   obtained with different power

备注: 新增回溯数据

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