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吴爱民
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副教授   博士生导师   硕士生导师

其他任职:辽宁省能源材料及器件重点实验室副主任

性别:男

毕业院校:大连理工大学

学位:博士

所在单位:材料科学与工程学院

学科:材料物理与化学
材料表面工程

办公地点:新三束4#楼311室

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当前位置 : 吴爱民 >> 科学研究 >> 论文成果
基于电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积技术生长GaMnN稀磁半导体的研究

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发布时间:2019-03-10

论文类型:期刊论文

发表时间:2008-01-01

发表刊物:物理学报

收录刊物:CSCD、ISTIC、PKU、SCIE

卷号:57

期号:1

页面范围:508-513

ISSN号:1000-3290

关键字:GaMnN薄膜;稀磁半导体;铁磁性;居里温度

摘要:利用电子回旋共振.等离子体增强金属有机物化学气相沉积(ECR-PEMOCVD)方法.采用二茂锰(Cp2Mn)作为Mn源,高纯氮气作为氮源,三乙基镓(TEGa)作为Ga源,在蓝宝石(α-A12 O3)(0001)衬底上外延生长GaMnN稀磁半导体薄膜.反射高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)表征了GaMnN薄膜的晶体结构和表面形貌.GaMnN薄膜均表现出良好的(0002)择优取向,表明制备的薄膜倾向于c轴方向生长,薄膜保持很好的纤锌矿结构.表面形貌是由许多亚微米量级的晶粒按一致的取向规则堆砌而成的.超导量子干涉仪(SOUID)用来表征薄膜的磁性.SQUID分析表明,薄膜呈铁磁性,铁磁性仅可能来源于三元相GaMnN,薄膜的居里温度高于350 K.而且,高Mn的含量可以提高薄膜的居里温度.

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