副教授 博士生导师 硕士生导师
其他任职：辽宁省能源材料及器件重点实验室副主任
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院
学科：材料物理与化学
材料表面工程
办公地点：新三束4#楼311室
联系方式：
电子邮箱：
开通时间： ..
最后更新时间：..
点击次数：
发布时间：2019-03-10
论文类型：期刊论文
发表时间：2010-07-15
发表刊物：真空科学与技术学报
收录刊物：CSCD、ISTIC、PKU、EI
卷号：30
期号：4
页面范围：445-449
ISSN号：1672-7126
关键字：GaN TMGa流量 化学气相沉积 玻璃衬底 低温
摘要：采用电子回旋共振-等离子体辅助增强金属有机物化学气相沉积两步生长法在玻璃衬底上低温沉积CaN薄膜.利用原位反射高能电子衍射、X射线衍射、室温透射光谱和原子力显微镜,研究了不同TMGa流量条件下沉积的GaN薄膜的结晶性、光学性质和表面形貌.结果表明,TMGa流量对GaN薄膜质量影响很大,TMGa流量约为1.4 cm3/min(标准状态)条件下沉积的GaN薄膜结晶性较好,呈高度c-轴择优取向,420～1110 nm波长光区内透过率超过90%,薄膜表面由大小均匀的亚微米量级表面岛按一致取向堆砌而成.
