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个人信息Personal Information
副研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：中国科学院大学
学位：博士
所在单位：化工学院
办公地点：精细化工国家重点实验室 E-226室，大连理工大学西部校区
大连市甘井子区凌工路2号
电子邮箱：
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Cycloalkyl Ligand-Engineered Zirconium-Oxo Clusters for Sub-9 nm Electron Beam Lithography with Ultralow Line Edge Roughness
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论文类型：期刊论文
论文编号：602621
发表时间：2026-07-01
发表刊物：JOURNAL OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY
卷号：148
期号：25
页面范围：25779-25787
ISSN号：0002-7863
关键字：COMPLEXES; PHOTORESISTS; RESIST