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个人信息Personal Information
副研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：中国科学院大学
学位：博士
所在单位：化工学院
办公地点：精细化工国家重点实验室 E-226室，大连理工大学西部校区
大连市甘井子区凌工路2号
电子邮箱：
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Absorption-coefficient calculation of short-wavelength photoresist materials: From EUV to BEUV and water window X-ray.
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论文类型：期刊论文
论文编号：596090
发表时间：2024-01-01
发表刊物：Smart molecules : open access
卷号：3
期号：4
页面范围：e20240043
ISSN号：2751-4587
关键字：beyond extreme ultraviolet; DFT; extreme ultraviolet; linear absorption coefficient; photoresist; water window X-ray