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毕业院校:大连理工大学
学位:博士
所在单位:物理学院
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[1]微重力电负性复杂等离子体放电机理混合模拟研究,国家自然科学基金项目,2024-08-23,在研
[2]射频容性耦合Ar/CF4/O2混合气体放电不稳定性机理的模拟研究,国家自然科学基金项目,专项基金项目,2023-12-18,2025-03-31,结题
[3]面向高深宽比刻蚀的多尺度模型构建和数值模拟,国家自然科学基金项目,2024-08-23,在研
共 3 条 1/1
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