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论文类型：期刊论文

发表时间：2015-12-15

发表刊物：人工晶体学报

收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

卷号：44

期号：12

页面范围：3439-3443,3454

ISSN号：1000-985X

关键字：大尺寸超薄硅片;重力附加变形;FEM;反转法

摘要：建立了计算硅片重力附加变形的有限元模型,模型包含硅片残余应力的影响.通过有限元与实验方法研究了反转法对抛光与磨削加工硅片适用性.结果表明,反转法适用于抛光硅片,有限元与反转法所得重力附加变形差值小于1 μm;对#5000砂轮磨削的300 mm直径394 μm厚度硅片,硅片残余应力使反转前后重力附加变形不再相同,误差超过最大重力附加变形值的5％;对#2000砂轮磨削的200 mm直径194 μm厚度硅片,残余应力超过临界值,硅片变形发生分岔,硅片自由面形与重力附加变形不再符合叠加关系,反转法不再适用.