高飞，教授/博士生导师，集成电路学院党委书记，中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会副主任委员，辽宁省先进薄膜与集成电路刻蚀技术重点实验室主任，《Plasma Science and Technology》期刊编委，辽宁省杰青，大连市高端人才，曾获大连市科学技术奖一等奖。所带射频等离子体物理团队是大连理工大学科技创新团队，曾获辽宁省首届优秀研究生导师团队。

面向集成电路、平板显示和核聚变能源领域，开展射频等离子体物理基础研究与应用技术开发。研制了国内首款具有自主知识产权的等离子体工艺腔室仿真软件MAPS，并研发了刻蚀机与PECVD的等离子体实验诊断平台。

主持国家自然科学基金重点项目、国家科技重大专项课题、国家重点研发计划课题、以及国家自然科学基金面上项目等十余项，和相关领域龙头企业有着深度的技术合作，主持千万级技术合作项目多项。

主要研究方向：

1. 射频等离子体源物理基础研究

2. 脉冲调制射频感应等离子体刻蚀机理研究

3. 射频负氢离子源物理基础研究

4. 射频等离子体与材料相互作用研究

5. 新型射频放电机理探索

所在课题组网站：http://pseg.dlut.edu.cn