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    高飞

    • 教授     博士生导师 硕士生导师
    • 主要任职:集成电路学院党委书记
    • 性别:男
    • 毕业院校:大连理工大学
    • 学位:博士
    • 所在单位:集成电路学院
    • 学科:等离子体物理
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    射频感应耦合CF4/Ar等离子体中模式转换的实验研究

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      发布时间:2019-03-10

      论文类型:会议论文

      发表时间:2013-08-15

      页面范围:286-286