高飞

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  • 教授     博士生导师   硕士生导师
  • 主要任职:物理学院副院长
  • 性别:男
  • 毕业院校:大连理工大学
  • 学位:博士
  • 所在单位:物理学院
  • 学科:等离子体物理
  • 电子邮箱:fgao@dlut.edu.cn

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开通时间:2017.9.13

最后更新时间:2017.9.13

射频感应耦合Ar-CF_4等离子体物理特性的Langmuir探针测量

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论文类型:会议论文

发表时间:2009-07-20

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关键字:电子温度;感应耦合;电子密度;Ar-CF_4;Langmuir;等离子体物理;能量分布;测量研究;实验研究结果;

摘要:通过Langmuir探针测量研究了射频感应耦合Ar-CF_4等离子体中电子温度(Te)、电子密度(n_e)和电子能量分布函数(EEDF)等物理量随CF_4含量的变化规律。实验研究结果表明:电子能量分布函数呈现出非Manwell分布。电子温度随着CF_4含量的增加而增加,电子密度随着CF_4含量的增加先迅速下降,后平稳下降。